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日本MEG對齊單元

  • 產品型號:X9113-C
  • 更新時間:2025-06-09

簡要描述:日本MEG對齊單元X9113-C用于精密機械/光學設備的定位校準(如半導體設備、顯微鏡等),具備高精度位移控制(微米/納米級)或角度調整功能。
自動化檢測設備(CCD相機定位)。

產品詳情

圳納加霍里科技專業代理銷售日本MEG對齊單元X9113-C 產品特點如下:

日本MEG對齊單元X9113-C用于精密機械/光學設備的定位校準(如半導體設備、顯微鏡等),具備高精度位移控制(微米/納米級)或角度調整功能。

特長小型鉚接型機身口30mm凝聚鉚接所需的功能,緊湊節省空間,高速運行,備有帶馬達型號、外部驅動型號,此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等。

扭力類型長沖程可對應廣泛用途,備有帶馬達型號、外部驅動型號,小型緩沖類型主體□30mm濃縮緩沖必要的功能,緊湊節省空間,高速運行,備有帶馬達型號、外部驅動型號,此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等,緩沖類型長沖程,適用于各種用途,備有帶馬達型號、外部驅動型號。

備有本體安裝部形狀、指狀物形狀、驅動方式等多種種類,提供多種驅動方式可供選擇。

不能改變指狀物的數量,沖程可以根據脈沖數而改變,(帶電機的型號)5速度可通過運行頻率、加減速時間的設定進行變更(馬達型號)。

在狹小空間也能發揮高精度定位的定位單元和開發的小型對準單元,控制身體寬度的苦心設計,即使在小沖程輸送的狹小空間內也能實現精確的工件定位。

小型指狀物配置于機身頂部,本體安裝,利用本體背面的M2抽頭。

小型A型I指狀物配置在機身上面,主體安裝從主體上面用M3螺絲擰緊,還準備了實現閉環的STEP 。

小型AP型I被配置在實體側面,實體安裝從實體上面用M3螺絲擰緊,還準備了可實現閉環的 STEP馬達。

以小型高精度重復精度高的凸輪為基礎,鉚釘采用無背襯機構,緩沖器具有彈簧中央緩沖器功能,可進行高精度定位,輕巧、不別扭的工作通過采用無限軌道線性導軌,實現輕快、不別扭的工作,具有良好的高速響應能力,高速定位利用步進電機和小慣性凸輪機構,定位響應速度可達0.1sec(全行程)

小而長壽命簡單且不給鰭片驅動部過載的結構,因此具有出色的耐久性,是可以長期使用的高經濟性對準單元。

通過無沖擊動作步進的加減速控制,即使高速也能實現柔和的定位,吹氣端口本體設有M5端口孔,通過吹干空氣,防止異物從本體上部角孔侵入。

對齊單元X9113-C介紹

基本功能

用于精密機械/光學設備的定位校準(如半導體設備、顯微鏡等)。

具備高精度位移控制(微米/納米級)或角度調整功能。

技術參數

精度:±0.1 μm 或更高(取決于應用場景)。

行程范圍:線性或旋轉式,具體數值需確認。

驅動方式:壓電陶瓷、伺服電機或手動微調。

兼容性:可能支持標準接口(如ISO法蘭、螺紋孔位)。

應用領域

半導體制造(光刻機晶圓對準)。

光學儀器(激光路徑校準)。

自動化檢測設備(CCD相機定位)。

特點

高剛性材料(如陶瓷或不銹鋼)以減少熱變形。

可選配傳感器反饋(閉環控制)。

日本MEG對齊單元

規格

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